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六甲基环三硅氧烷，又称1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氮烷，英文名称是Hexamethylcyclotrisiloxane，CAS号是541-05-9，分子式s C₆H₁₈O₃Si₃，分子量是222.4618，主要用于制造甲基乙烯基硅橡胶制品，也是合成其它高分子化合物的重要原料。
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